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J-GLOBAL ID：200902240077582935   整理番号：07A0377140

a-C:H膜の合成と光学的特性及び酸素透過率の評価

著者 (4件)： 西英隆 (東京工大 大学院) ,  大曽根祐樹 (東京工大 大学院) ,  村上碩哉 (東京工大 大学院) ,  大竹尚登 (名古屋大 大学院)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 54th  号： 2  ページ： 640  発行年： 2007年03月27日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *酸素 ,...

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分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (3件)： 光学的特性 ,  酸素透過率 ,  評価