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J-GLOBAL ID：200902242059540799   整理番号：07A0498664

ナノパルスマグネトロン化学蒸着によるダイヤモンド状炭素膜の急速な成長

Rapid Growth of Diamond-like Carbon Films by Nanopulse Magnetron Chemical Vapor Deposition

著者 (5件)： SAITO Masanori (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN) ,  SAITO Takao (NGK INSULATORS, Ltd., Nagoya, JPN) ,  KONDO Yoshimasa (NGK INSULATORS, Ltd., Nagoya, JPN) ,  MURAKAMI Hiroya (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN) ,  OHTAKE Naoto (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 46  号： 5A  ページ： 3029-3031  発行年： 2007年05月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ダイヤモンド状炭素(DLC)膜の急速な析出法の開発を行った。...

シソーラス用語： *DLC膜 ,...
準シソーラス用語： ナノパルスプラズマ

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分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

引用文献 (15件)：

• T. Yamamoto and H. Hyodo: Tribology Int.36(2003)483.
• M. Murakawa, M. Jin, and M. Hayashi: Surf. Coat. Technol.177(2004)631.
• G. A. Abbas, P. Papakonstantinou, T. I. T. Okpalugo, J. A. McLaughlin, J. Filik, and E. Harkin-Jones: Thin Solid Films 482(2005)201.
• S. Chowdhury, M. T. Laugier, and I. Z. Rahman: Thin Solid Films 468(2004)149.
• D. S. Mao, J. Zhao, W. Lia, X. Wang, X. H. Liu, Y. K. Zhu. Z. Fan, J. Y. Zhou, Q. Li, and J. F. Xu: Diamond Relat. Mater.8(1999)52.

タイトルに関連する用語 (3件)： 化学蒸着 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  成長