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J-GLOBAL ID：200902242084666012   整理番号：07A0196716

大気圧非平衡プラズマのミクロ構造を利用した垂直配向単層カーボンナノチューブの合成

Synthesis of Vertically-Aligned Single-Walled Carbon Nanotubes in Micro Structure of Atmospheric Pressure Non-Equilibrium Plasma

著者 (5件)： 大西空摩 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  野崎智洋 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  岡崎健 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  HEBERLEIN Joachim (Univ. Minnesota, Minnesota, USA) ,  KORTSHAGEN Uwe (Univ. Minnesota, Minnesota, USA)
資料名： Thermal Science and Engineering  (Thermal Science and Engineering)
巻： 15  号： 1  ページ： 9-14  発行年： 2007年01月 
JST資料番号： L1615A  ISSN： 0918-9963  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 大気圧ではプラズマCVDで重要であるシース,すなわち電極とバ...

シソーラス用語： *ナノチューブ ,...

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分類 (3件)： プラズマ一般  (BJ02010B) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

引用文献 (12件)：

• 小駒益弘. 小特集 : 大気圧グロー放電の発生と応用. プラズマ・核融合学会誌. 2003, 79, 10, 1000-1032
• KATO, T. Freestanding Individual Single-walled Carbon Nanotube Synthesis Based on Plasma Sheath Effects. Jpn. J. Appl. Phys., A. 2004, 43, 10, L1278-L1280
• ZHONG, G. Very high yield growth of vertically-aligned single walled carbon nanotubes by point-arc microwave plasma CVD. Chem. Vap. Dep. 2005, 11, 3, 127-130
• NOZAKI, T. Carbon nanotubes deposition in glow barrier discharge enhanced catalytic CVD. J. Phys. D : Appl. Phys. 2002, 35, 2779-2784
• NOZAKI, T. Deposition of vertically oriented carbon nanofibers in atmospheric pressure radio frequency discharge. J. Appl. Phys. 2006, 99, "024310-1"-"024310-7"

タイトルに関連する用語 (4件)： 大気圧非平衡プラズマ ,  ミクロ構造 ,  垂直配向 ,  単層カーボンナノチューブ