文献

J-GLOBAL ID：200902243875163657   整理番号：06A0097002

解放空気中のナノパルス化学気相蒸着によるダイヤモンド状カーボン膜の合成

Synthesis of Diamond-Like Carbon Films by Nanopulse Plasma Chemical Vapor Deposition in Open Air

著者 (6件)： KONDO Yoshimasa (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  KONDO Yoshimasa (NGK Insulators, Nagoya, JPN) ,  SAITO Takao (NGK Insulators, Nagoya, JPN) ,  TERAZAWA Tatsuya (NGK Insulators, Nagoya, JPN) ,  SAITO Masanori (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  OHTAKE Naoto (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 44  号： 50-52  ページ： L1573-L1575  発行年： 2005年12月25日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大気圧でのダイヤモンド状カーボン(DLC)膜の蒸着は工作寸法...

シソーラス用語： *化学蒸着 ,...
準シソーラス用語： 開放空気 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=06A0097002&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0599B") }}

分類 (2件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L)

引用文献 (17件)：

• ERDEMIR, A. J. Vac. Sci. Technol. A. 2000, 18, 1987
• GRILL, A. Wear. 1993, 168, 143
• ZAIDI, H. L. Diamond Relat. Mater. 1994, 3, 787
• MARCHON, B. IEEE Trans. Magn. 1990, 26, 168
• YAMAMOTO, T. IEEE Trans. Magn. 2000, 36, 115

タイトルに関連する用語 (6件)： 解放 ,  空気中 ,  パルス ,  化学 ,  気相蒸着 ,  ダイヤモンド状カーボン