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J-GLOBAL ID:200902245681077663   整理番号:09A0052154

磁性流体マイクロアクチュエータの駆動特性

Driving Characteristics of the Micro Magnetic Fluid Actuator
著者 (3件):
資料名:
巻:号:ページ: 359-365  発行年: 2008年12月25日 
JST資料番号: L4590A  ISSN: 1346-4930  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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マイクロアクチュエータ駆動力に外部変動磁場による磁気力を用いる方式として,磁気特性に優れた磁石を駆動素子本体に用い,磁石表面に磁性流体を吸着させた駆動素子を作製し,その基本的特性を調べた。この方式では,駆動子磁石を磁性流体中に浮遊した状態とすることにより固体間の接触をなくし,摩擦力を極めて小さくすることを可能にしている。実験の結果,微小磁石と磁性流体で構成される磁性流体スウィングアクチュエータは外部交流磁場により非接触で振動駆動することができた。また,駆動特性に及ぼす外部交流磁場周波数依存性を調べた結果,磁性流体アクチュエータの作動振れ角度は交流磁場の周波数に依存し,特定の周波数でピークを示すことを確認した。
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
引用文献 (6件):
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