抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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マイクロアクチュエータ駆動力に外部変動磁場による磁気力を用いる方式として,磁気特性に優れた磁石を駆動素子本体に用い,磁石表面に磁性流体を吸着させた駆動素子を作製し,その基本的特性を調べた。この方式では,駆動子磁石を磁性流体中に浮遊した状態とすることにより固体間の接触をなくし,摩擦力を極めて小さくすることを可能にしている。実験の結果,微小磁石と磁性流体で構成される磁性流体スウィングアクチュエータは外部交流磁場により非接触で振動駆動することができた。また,駆動特性に及ぼす外部交流磁場周波数依存性を調べた結果,磁性流体アクチュエータの作動振れ角度は交流磁場の周波数に依存し,特定の周波数でピークを示すことを確認した。