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J-GLOBAL ID：200902245999870214   整理番号：06A0427337

エリプソメトリーによるZnDTP反応被膜の評価

著者 (4件)： 青木才子 (東京工大 大学院) ,  横溝真人 (東京工大 大学院) ,  鈴木章仁 (東京工大 大学院) ,  益子正文 (東京工大 大学院)
資料名： 日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集  (Proceedings of JAST Tribology Conference)
巻： 2006-5  ページ： 83-84  発行年： 2006年04月20日 
JST資料番号： Y0047B  ISSN： 0919-6005  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *潤滑膜 ,...

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分類 (2件)： 潤滑一般  (QB02010S) ,  偏光測定と偏光計  (BD07050K)

タイトルに関連する用語 (3件)： エリプソメトリー ,  被膜 ,  評価