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J-GLOBAL ID：200902246303578235   整理番号：05A0522436

SIサイリスタを用いたナノパルス電源によるダイヤモンド状炭素膜成膜

Preparation of Diamond like Carbon Films using Nanopulse Generator Employing SI Thyrister

著者 (4件)： 近藤好正 (東京工大 大学院) ,  斉藤隆雄 (日本碍子) ,  寺沢達矢 (東京工大 大学院) ,  大竹尚登 (東京工大 大学院)
資料名： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻： 125  号： 6  ページ： 527-532  発行年： 2005年06月01日 
JST資料番号： S0808A  ISSN： 0385-4205  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 現行のパルスプラズマCVD法ではマイクロパルスを用いているが...

シソーラス用語： *プラズマCVD ,...
準シソーラス用語： CVD【化学蒸着】 ,...

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分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  気相めっき  (WC08022K)

引用文献 (13件)：

• (1) A. Grill: “Review of the tribology of diamond-like carbon”, Wear, No. 168, pp. 143-153 (1993)
• (2) J. Robertson: “Hard amorphous diamond-like carbon”, Prog. Solid State Chem., Vol. 21, p. 199 (1991)
• (3) A. Grill and B. Meyerson: Synthetic Diamond: Emerging CVD Science and Technology, p. 91, <i>John Wiley & Sons, Inc.</i> (1994)
• (4) D. R. McKenzie: “Tetrahedral bonding in amorphous carbon”, Rep. Prog. Phys., Vol. 59, pp. 1611-1664 (1996)
• (5) A. Shirakura, T. kage, Y. Koga, and T. Suzuki: “DLC Films on PET bottle”, New Diamond, Vol. 16, No. 2, pp. 32-33(2000) (in Japanese)

タイトルに関連する用語 (5件)： Si ,  サイリスタ ,  パルス電源 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  成膜