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J-GLOBAL ID：200902247036856138   整理番号：05A0844235

大気圧プラズマCVDによるカーボンナノファイバーの合成:衝突性シースにおける配向成長

著者 (3件)： 野崎智洋 (東京工大 大学院) ,  大西空摩 (東京工大 大学院) ,  岡崎健 (東京工大 大学院)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 66th  号： 1  ページ： 404  発行年： 2005年09月07日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *プラズマCVD ,...

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分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (7件)： 大気圧プラズマ ,  CVD ,  カーボンナノファイバー ,  衝突 ,  シース ,  配向 ,  成長