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J-GLOBAL ID：200902248155938742   整理番号：08A0919702

太陽電池の電極溝作製用として使用の表面放電用凸電極形状の最適化

Optimization of convex electrode geometry for surface discharge used for fabrication of the electrode groove on solar cells

著者 (6件)： HAMADA T. (Dep. of Electrical and Electronic Engineering, Univ. of Miyazaki 1-1 Gakuenkibanadai-Nishi, Miyazaki 889-2192, JPN) ,  ARAKAWA S. (Dep. of Electrical and Electronic Engineering, Univ. of Miyazaki 1-1 Gakuenkibanadai-Nishi, Miyazaki 889-2192, JPN) ,  SAKODA T. (Dep. of Electrical and Electronic Engineering, Univ. of Miyazaki 1-1 Gakuenkibanadai-Nishi, Miyazaki 889-2192, JPN) ,  OTSUBO M. (Dep. of Electrical and Electronic Engineering, Univ. of Miyazaki 1-1 Gakuenkibanadai-Nishi, Miyazaki 889-2192, JPN) ,  MATSUI K. (M. SETEK Co.,Ltd., Daiwa Bldg.,3-6-16 Yanaka, Taito-ku, Tokyo 110-0001, JPN) ,  NAGASAWA K. (M. SETEK Co.,Ltd., Daiwa Bldg.,3-6-16 Yanaka, Taito-ku, Tokyo 110-0001, JPN)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 202  号： 22-23  ページ： 5405-5409  発行年： 2008年08月30日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大気圧操作の表面放電によって窒化ケイ素膜をエッチングする太陽電池の電極溝作製用の低コストプラズマプロセス技術について調べた。同じような品質であるが,形状と厚みが異なる3種類の誘電体電極を使用し,最適電極幾何形状について考察した。ラジカル種の拡散の抑制が,溝の幅を狭くするための鍵であって,ストリーマー長さが長い時には,誘電体電極の幾何形状から短時間のエッチングが必要であることが分かった。Copyright 2008 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *太陽電池 ,  *電極 ,  *溝加工 ,  *沿面放電 ,  形態 ,  凸形 ,  *最適化 ,  単結晶 ,  ケイ素 ,  *窒化ケイ素 ,  セラミック被覆 ,  皮膜 ,  *プラズマエッチング ,  誘電体 ,  時間依存性 ,  酸素 ,  フロン ,  電極構造 ,  *改変
準シソーラス用語： *表面放電

分類 (2件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 太陽電池 ,  作製 ,  表面放電 ,  凸 ,  最適化