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J-GLOBAL ID：200902248956946984   整理番号：08A0955148

PBII&D法で成膜したDLC膜の摩擦熱の解析

著者 (5件)： 川口雅弘 (都立産技研) ,  青木才子 (都立産技研) ,  三尾淳 (都立産技研) ,  CHOI Junho (東大) ,  加藤孝久 (東大)
資料名： 日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集  (Proceedings of JAST Tribology Conference)
巻： 2008-9  ページ： 179-180  発行年： 2008年09月01日 
JST資料番号： Y0047B  ISSN： 0919-6005  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *DLC膜 ,  *摩擦熱 ,  摩擦係数 ,  *摩擦試験 ,  痕跡 ,  Raman分光分析 ,  圧子 ,  鏡面仕上 ,  プラズマ入射 ,  走査電子顕微鏡 ,  エネルギー分散蛍光X線分析 ,  摩耗試験 ,  滑り試験 ,  摩耗痕 ,  薄膜形成 ,  機械工作
準シソーラス用語： プラズマ注入 ,  成膜

分類 (2件)： 潤滑一般  (QB02010S) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (4件)： 成膜 ,  DLC膜 ,  摩擦熱 ,  解析