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J-GLOBAL ID：200902252771701800   整理番号：05A0688395

大気圧プラズマCVDと反応温度制御

Atmospheric pressure plasma CVD and temperature control

著者 (3件)： 野崎智洋 (東京工大) ,  岡崎健 (東京工大) ,  後藤智哉 (東京工大)
資料名： 日本伝熱シンポジウム講演論文集(CD-ROM)
巻： 42nd  ページ： D234  発行年： 2005年 
JST資料番号： F0872D  ISSN： 1346-1532  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 大気圧で形成される空間均一性が高い大気圧グロー放電は,真空プ...

シソーラス用語： 気圧 ,...
準シソーラス用語： プラズマプロセシング ,...

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分類 (2件)： 気体放電  (BJ03020T) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (3件)： 大気圧プラズマ ,  CVD ,  温度制御