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J-GLOBAL ID：200902253478479430   整理番号：09A0620867

液体内と通常のプラズマ化学気相蒸着法を利用したダイヤモンドの成長速度の比較

A comparison of diamond growth rate using in-liquid and conventional plasma chemical vapor deposition methods

著者 (5件)： TAKAHASHI Yoshiyuki (Graduate School of Sci. and Engineering, Ehime Univ., 3 Bunkyo-cho, Matsuyama 790-8577, JPN) ,  TOYOTA Hiromichi (Graduate School of Sci. and Engineering, Ehime Univ., 3 Bunkyo-cho, Matsuyama 790-8577, JPN) ,  NOMURA Shinfuku (Graduate School of Sci. and Engineering, Ehime Univ., 3 Bunkyo-cho, Matsuyama 790-8577, JPN) ,  MUKASA Shinobu (Graduate School of Sci. and Engineering, Ehime Univ., 3 Bunkyo-cho, Matsuyama 790-8577, JPN) ,  INOUE Toru (Geodynamics Res. Center, Ehime Univ., 2-5 Bunkyo-cho, Matsuyama 790-8577, JPN)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 105  号： 11  ページ： 113306  発行年： 2009年06月01日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 効率的にダイヤモンドの高速度蒸着を行うために,気相マイクロ波プラズマ化学気相蒸着と液中マイクロ波プラズマ化学気相蒸着の比較を行った。メタンと水素の混合気体を気相蒸着のための気体源として,また,メタンのエタノール溶液を液体内蒸着の液体源として利用した。実験系の圧力は60~150kPaの範囲内であった。ダイヤモンドの成長速度は圧力増加と共に増加するが,ダイヤモンドの単位体積当たりの入力マイクロ波エネルギーの量は利用した方法に関係なく1kWh/mm³であった。液体内蒸着法は液体自体の蒸発を通して優れた冷却効果を与え,高い圧力雰囲気の下でより高い入力電気パワーを印加出来る。液体内マイクロ波プラズマ化学気相蒸着過程の成長速度は同じ圧力条件のもとにおける通常の気相マイクロ波プラズマ化学気相蒸着過程より大きいことを見いだした。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマCVD ,  *ダイヤモンド ,  *成長速度 ,  *溶液 ,  圧力効果 ,  混合気体 ,  水素 ,  マイクロ波 ,  アルカン ,  脂肪族アルコール ,  *鉱石 ,  *宝石

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

物質索引 (2件)： メタン ,  エタノール

タイトルに関連する用語 (4件)： 液体内 ,  プラズマ化学気相蒸着法 ,  ダイヤモンド ,  成長速度