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J-GLOBAL ID：200902257744675823   整理番号：09A0029866

シリコンを光らせる マイクロプラズマによる可視発光シリコンナノ粒子の合成=低温・大量合成にむけて=

著者 (1件)： 野崎智洋 (東京工大)
資料名： 光アライアンス  (Optical Alliance)
巻： 20  号： 1  ページ： 14-18  発行年： 2009年01月01日 
JST資料番号： L1746A  ISSN： 0917-026X  CODEN： HARAEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： シリコンナノ粒子(Si-NP)を安価,簡便かつ大量に合成する手法は,これまで確立されてはいなかった。ここでは「マイクロプラズマ」と呼ぶ,粒径3~5nmのSi-NPを最大収量150mg/hで連続気相合成することができる反応性プラズマ利用の新しい粒子合成法を紹介した。シリコンナノ粒子の合成法として,1)従来のSi-NP合成法,2)新しく開発したマイクロプラズマによるSi-NP合成法について記述した。ついで,可視発光シリコンナノ粒子の合成として,1)可視発光シリコンナノ粒子の合成,2)Si-NPの結晶性制御,3)青色発光シリコンナノ粒子の合成について詳述した。

シソーラス用語： *ナノ粒子 ,  ケイ素 ,  発光 ,  可視光 ,  *プラズマ合成 ,  大量生産 ,  ナノ結晶 ,  結晶度 ,  ルミネセンス ,  マイクロプラズマ

分類 (3件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  プラズマ応用  (BJ02110K) ,  半導体のルミネセンス  (BM08092S)

タイトルに関連する用語 (4件)： シリコン ,  マイクロプラズマ ,  シリコンナノ粒子 ,  低温