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J-GLOBAL ID：200902258535360358   整理番号：07A0378036

RF CMOS-MEMSの検討(2):RF MEMSスイッチの低電圧化

著者 (10件)： 草山裕助 (長岡技科大) ,  桑原啓 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  佐藤昇男 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  森村浩季 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  阪田知巳 (NTT マイクロシステムインテグレーション研) ,  工藤和久 (NTTアドバンステクノロジ) ,  矢野正樹 (NTTアドバンステクノロジ) ,  町田克之 (NTTアドバンステクノロジ) ,  石原康利 (長岡技科大) ,  石井仁 (NTT マイクロシステムインテグレーション研)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 54th  号： 2  ページ： 940  発行年： 2007年03月27日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *CMOS構造 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： RF ,  CMOS ,  MEMS ,  MEMSスイッチ ,  低電圧