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J-GLOBAL ID：200902259788855350   整理番号：08A0545915

大気圧非平衡マイクロ波プラズマジェットを用いたPENフィルム表面処理における基礎特性

Basic Characteristics for PEN Film Surface Modification using Atmospheric-Pressure Non-equilibrium Microwave Plasma Jet

著者 (6件)： 湯地敏史 (宮崎大 教育文化) ,  浦山卓也 (ADTECプラズマテクノロジー) ,  藤井修逸 (ADTECプラズマテクノロジー) ,  飯島善時 (日本電子) ,  須崎嘉文 (香川大 工) ,  赤塚洋 (東京工大 原子炉研)
資料名： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻： 128  号： 6  ページ： 449-455  発行年： 2008年06月01日 
JST資料番号： S0808A  ISSN： 0385-4205  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,大気圧非平衡マイクロ波プラズマジェットの基礎特性を把握するため,発光分光計測により振動および回転速度を算出した。また,PEN(polyethlene naphthalate)フィルムの表面をプラズマ照射し,化学分析することにより,プラズマプロセスの変化を考察して,プラズマパラメータとの関連について考察した。

シソーラス用語： マイクロ波 ,  *プラズマ ,  *プラズマジェット ,  *ポリエチレンナフタレート ,  *高分子薄膜 ,  *表面処理 ,  接触角 ,  気圧 ,  非平衡状態 ,  *マイクロ波プラズマ
準シソーラス用語： *PEN【重合体】 ,  大気圧

分類 (1件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L)

引用文献 (13件)：

• FAVIA, P. Plasma treatments and plasma deposition of polymers for biomedical applications. Surface & Coatings Technology. 1998, 98, Issues 1-3, 1102-1106
• HERRERO, J. Transparent films on polymers for photovoltaic applications. Vaccum. 2002, 67, Issues 3-4, 611-616
• CAMPS, E. Microwave plasma nitrided austenitic AISI-304 stainless steel. Surface & Coatings Technology. 1998, 106, Issues 2-3, 121-128
• KANAZAWA, S. Stable Glow Plasma at Atmospheric Pressure. J. Phys. D : Appl. Phys. 1988, 21, 838-840
• MUHLHAN, C. Improvement of bonding properties of polypropylene by low-pressure plasma treatment. Surface & Coatings Technology. 1999, 116-119, 783-787

タイトルに関連する用語 (6件)： 大気圧 ,  非平衡 ,  マイクロ波プラズマジェット ,  PEN ,  フィルム表面 ,  基礎