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J-GLOBAL ID：200902261659978881   整理番号：08A1173332

大気開放プラズマプロセスによるダイヤモンド成膜およびエッチング特性と分光計測

著者 (7件)： 八木秀次 (愛媛大) ,  本村英樹 (愛媛大) ,  神野雅文 (愛媛大) ,  青山善行 (愛媛大) ,  小野和雄 (愛媛大) ,  後藤弘行 (愛媛大) ,  添野宣 (愛媛大)
資料名： ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集
巻： 22nd  ページ： 66-67  発行年： 2008年10月21日 
JST資料番号： L1241A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *DLC膜 ,  *薄膜成長 ,  プラズマ装置 ,  マイクロ波 ,  大気中 ,  分光計 ,  エッチング ,  水素 ,  混合比 ,  流量 ,  窒素 ,  C-H結合 ,  アルゴン ,  空間分布 ,  *大気プラズマ ,  アルカン ,  プラズマ銃
準シソーラス用語： ダイヤモンド状薄膜 ,  分光器

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (6件)： 大気 ,  プラズマプロセス ,  ダイヤモンド ,  成膜 ,  エッチング特性 ,  分光計測