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J-GLOBAL ID：200902265723254200   整理番号：06A1013515

プラズマ増強化学蒸着中での気体温度及び表面加熱

Gas temperature and surface heating in plasma enhanced chemical-vapour-deposition
著者 (5件)：
NUNOMURA Shota

NUNOMURA Shota について

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)

National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN について

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KONDO Michio

KONDO Michio について

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)

National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN について

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KONDO Michio

KONDO Michio について

(Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)

Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN について

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AKATSUKA Hiroshi

AKATSUKA Hiroshi について

(Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)

Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN について

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AKATSUKA Hiroshi

AKATSUKA Hiroshi について

(Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN)

Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN について


資料名：
Plasma Sources Science and Technology  (Plasma Sources Science and Technology)

Plasma Sources Science and Technology について


巻： 15  号： 4  ページ： 783-789  発行年： 2006年11月 
JST資料番号： W0479A  ISSN： 0963-0252  CODEN： PSTEEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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容量結合60MHz高周波(VHF)放電を用いたミクロ結晶Si...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*プラズマCVD

プラズマCVD について

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準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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プラズマ増強化学蒸着

プラズマ増強化学蒸着 について


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分類 (1件)：
分類
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プラズマ応用 
(BJ02110K)

プラズマ応用 について

物質索引 (1件)：
物質索引
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モノシラン

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タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
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プラズマ増強化学蒸着

プラズマ増強化学蒸着 について

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気体温度

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