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J-GLOBAL ID：200902266604439495   整理番号：07A1006932

大気圧マイクロプラズマによる可視発光シリコンナノ粒子合成

著者 (5件)： 荻野智久 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  中牟田崇史 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  佐々木健二 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  野崎智洋 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  岡崎健 (東京工大 大学院理工学研究科)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 68th  号： 1  ページ： 182  発行年： 2007年09月04日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 可視発光スペクトル ,...
準シソーラス用語： *大気圧プラズマ

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分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  半導体のルミネセンス  (BM08092S)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (3件)： 大気圧マイクロプラズマ ,  シリコン ,  ナノ粒子合成