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J-GLOBAL ID：200902266939565495   整理番号：04A0692528

ナノ・キャスティング・インプリント法による微細パターン転写

著者 (7件)： 吉川崇 (大阪府大 大学院) ,  森松賢順 (大阪府大 大学院) ,  中島匡貴 (大阪府大 大学院) ,  金釘知洋 (大阪府大 大学院) ,  小西高晃 (大阪府大 大学院) ,  川田博昭 (大阪府大 大学院) ,  平井義彦 (大阪府大 大学院)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 65th  号： 2  ページ： 612  発行年： 2004年09月01日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ナノメータ加工 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 微細パターン ,  転写