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J-GLOBAL ID:200902267037756049   整理番号:07A0136621

誘導結合プラズマのパルス変調特性

Characteristic of pulse modulated inductively-coupled-plasma light source
著者 (4件):
資料名:
巻: PST-07  号: 1-11.13-23  ページ: 55-59  発行年: 2007年01月26日 
JST資料番号: Z0951A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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RF電源による誘導結合型放電(ICP)を用い水銀の代替として...
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分類 (1件):
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光源,照明器具 
引用文献 (11件):
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