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J-GLOBAL ID：200902271528254077   整理番号：08A0197282

プラズマが拓く新技術 大気開放プラズマプロセスによるダイヤモンド膜の作製

著者 (3件)： 八木秀次 (愛媛大) ,  神野雅文 (愛媛大) ,  本村英樹 (愛媛大)
資料名： ケミカルエンジニヤリング  (Chemical Engineering (Tokyo))
巻： 53  号： 3  ページ： 207-212  発行年： 2008年03月01日 
JST資料番号： F0134A  ISSN： 0387-1037  CODEN： CMNGA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 今回は,大気開放でのプラズマを利用したダイヤモンド作製につい...

シソーラス用語： プラズマ ,...
準シソーラス用語： *プラズマプロセシング ,...

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分類 (2件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (5件)： プラズマ ,  大気 ,  プラズマプロセス ,  ダイヤモンド膜 ,  作製