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J-GLOBAL ID:200902272374018371   整理番号:09A0128991

溶融樹脂の塗布による微細転写挙動の基礎的研究

著者 (5件):
資料名:
巻: 21  号:ページ: 94-102  発行年: 2009年01月20日 
JST資料番号: L3123A  ISSN: 0915-4027  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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ダイから吐出された直後の温度低下の少ない溶融樹脂をスタンパ上の微細パターン面に直接供給し,塗布後加圧することで微細形状を一括転写する薄肉大面積,低残留応力,低光学歪の成形品を得る成形法について,その微細転写挙動の基礎的研究結果を報告した。シクロオレフィンコポリマ(COC)とポリカーボネート(PC)を用いて,種々の成形条件下で塗布した樹脂の半球凸形状微細パターンの転写形状を観察し,転写挙動の解明を試みた。結果は,スタンパ温度と印加圧力が高いほど転写性は良くなり,COCで170°C,PCで175°Cで完全に転写された。転写挙動は縁部が高く中央が凹の形状に推移した後,完全転写の半球の凸形状に変化した。溶融樹脂とスタンパ壁面との粘着力を考慮した微細転写モデルを提案した。
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