文献

J-GLOBAL ID：200902272604708321   整理番号：05A0458359

常圧プラズマ発生用高周波電圧形インバータのPDM制御法

Pulse-Density Modulation of a High-Frequency Voltage-Source Inverter for Atmospheric-Pressure Plasma Generation

著者 (3件)： 中塚健夫 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  藤田英明 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  赤木泰文 (東京工大 大学院理工学研究科)
資料名： 電気学会論文誌 D  (IEEJ Transactions on Industry Applications)
巻： 125  号： 5  ページ： 413-419  発行年： 2005年05月01日 
JST資料番号： X0451A  ISSN： 0913-6339  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体製造に使われる常圧プラズマ発生装置で一様な放電プラズマ...

シソーラス用語： イオン注入 ,...
準シソーラス用語： 常圧プラズマ ,...

   このテーマを更に深掘りする（JDreamⅢへ）  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=05A0458359&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=X0451A") }}

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電力変換器  (NB08030B)

引用文献 (13件)：

• (1) Y. Setsuhara: “Plasma Based Ion Implantation for Three-Dimensional Surface Modification and Process-Development of Plasma Sources for Plasma Immersion Ion Implantation-”, The Journal of the IEEJ, Vol. 121, No. 5, pp. 308-311 (2001-5) (in Japanese)
• 節原裕一: 「プラズマイオンによる表面の改質とプロセス— プラズマ源の開発—」, 電学誌, 121, 5, pp. 308-311 (2001-5)
• (2) J. A. Ferreira and J. A. Roux: “A Series Resonant Converter for Arc-Striking Applications”, IEEE Trans. on Industrial Electronincs, Vol. 45, No. 4, pp. 585-592 (1998-8)
• (3) E. E. Kunhardt: “Generation of Large-Volume, Atmospheric-Pressure, Nonequilibrium Plasmas”, IEEE Trans. on Plasma Science, Vol. 28, No. 1, pp. 189-200 (2000-2)
• (4) H. Fujita and H. Akagi: “Pulse-Density-Modulated Power Control of a 4kW, 450kHz Voltage-Source Inverter for Induction Melting Applications”, IEEE Trans. on Industry Appl., Vol. 32, No. 2, pp. 279-286 (1996-3)

タイトルに関連する用語 (6件)： 常圧 ,  プラズマ発生 ,  高周波 ,  電圧形インバータ ,  PDM ,  制御法