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J-GLOBAL ID：200902276288207892   整理番号：08A0089916

メタンガスを用いたプラズマイオン注入によるDLC膜の深さ方向分析

Depth Profile for DLC films deposited by plasma ion implantation with CH₄

著者 (5件)： 三尾淳 (都産技研) ,  川口雅弘 (都産技研) ,  森河和雄 (都産技研) ,  青木才子 (都産技研) ,  鈴木秀人 (茨城大)
資料名： 日本機械学会関東支部・精密工学会茨城講演会講演論文集  (日本機械学会・精密工学会茨城講演会講演論文集)
巻： 2007  ページ： 253-254  発行年： 2007年09月28日 
JST資料番号： X0829A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *DLC膜 ,...

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分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (5件)： メタンガス ,  プラズマイオン注入 ,  DLC膜 ,  深さ方向 ,  分析