大気圧プラズマCVDによる配向カーボンナノチューブの合成

文献

J-GLOBAL ID：200902278834555620 整理番号：06A0114094

Deposition of aliened carbon nanotubes using atmospheric pressure RF discharge

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資料名：
巻： PST-06 号： 1-18 ページ： 93-98 発行年： 2006年
JST資料番号： Z0951A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

高周波(13.56MHz)を用いてプラズマを励起し,空間均一...

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プラズマ応用

引用文献 (10件)：

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