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J-GLOBAL ID：200902279644909928   整理番号：07A0941956

アモルファス炭素膜の合成とガスバリア性評価

著者 (4件)： 大曽根祐樹 (東京工大 大学院) ,  西英隆 (東京工大 大学院) ,  村上碩哉 (東京工大 大学院) ,  大竹尚登 (名古屋大 大学院)
資料名： 砥粒加工学会学術講演会講演論文集  (ABTEC)
巻： 2007  ページ： 279-280  発行年： 2007年09月05日 
JST資料番号： L0894A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *炭素 ,...

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分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

物質索引 (1件)： アセチレン

タイトルに関連する用語 (4件)： アモルファス ,  炭素膜 ,  ガスバリア性 ,  評価