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J-GLOBAL ID：200902282560662979   整理番号：04A0849168

パルスプラズマCVDでマイクロホール内部に作製したDLC膜の機械的性質

Mechanical properties of DLC films prepared inside of micro-holes by pulse plasma CVD

著者 (5件)： YANG X D (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN) ,  SAITO T (NGK INSULATORS, LTD., Nagoya, JPN) ,  NAKAMURA Y (NGK INSULATORS, LTD., Nagoya, JPN) ,  KONDO Y (NGK INSULATORS, LTD., Nagoya, JPN) ,  OHTAKE N (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 13  号： 11/12  ページ： 1984-1988  発行年： 2004年11月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 粘土の押出成形に用いるステンレスSUS630製マイクロ押出ダ...

シソーラス用語： *DLC膜 ,...
準シソーラス用語： 圧力依存性

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分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (1件)： アセチレン

タイトルに関連する用語 (7件)： パルス ,  プラズマCVD ,  マイクロ ,  ホール ,  作製 ,  DLC膜 ,  機械的性質