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J-GLOBAL ID：200902282823240667   整理番号：09A0995764

電子材料用架橋薄膜中の酸触媒のミクロ分布

著者 (4件)： 東海林竜也 (北大 大学院) ,  坪井泰之 (北大 大学院) ,  竹井敏 (日産化学工業) ,  近間克己 (日産化学工業)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 70th  号： 2  ページ： 577  発行年： 2009年09月08日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *高分子薄膜 ,  *リソグラフィー ,  不均一性 ,  顕微Raman分光法 ,  *偏析 ,  共焦点顕微鏡 ,  スピンコーティング ,  触媒 ,  半導体プロセス ,  Ramanスペクトル ,  ポリアクリル酸エステル ,  TOF-SIMS ,  *ポリアクリル酸ヒドロキシエチル ,  架橋高分子 ,  *酸触媒

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  高分子固体の構造と形態学  (CG02022M)

物質索引 (1件)： PPTS

タイトルに関連する用語 (4件)： 電子材料 ,  架橋薄膜 ,  酸触媒 ,  分布