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J-GLOBAL ID：200902285825497567   整理番号：06A0969943

衝突性プラズマシースにおけるカーボンナノチューブの配向成長

Deposition of vertically oriented carbon nanotubes in highly collisional plasma

著者 (3件)： 野崎智洋 (東京工大) ,  岡崎健 (東京工大) ,  大西空摩 (東京工大 大学院)
資料名： 日本伝熱シンポジウム講演論文集(CD-ROM)
巻： 43rd  ページ： F133  発行年： 2006年 
JST資料番号： F0872D  ISSN： 1346-1532  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 減圧プラズマを用いれば,基板近傍に大きな電位勾配を有するシー...

シソーラス用語： プラズマさや ,...
準シソーラス用語： *衝突性プラズマ ,...

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分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (5件)： 衝突性プラズマ ,  シース ,  カーボンナノチューブ ,  配向 ,  成長