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J-GLOBAL ID：200902288561022700   整理番号：07A1231919

大気開放下におけるマイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンドの成膜特性について

著者 (7件)： 八木秀次 (愛媛大) ,  神野雅文 (愛媛大) ,  本村英樹 (愛媛大) ,  青山善行 (愛媛大) ,  小野和雄 (愛媛大) ,  後藤弘行 (愛媛大) ,  小浦紘充 (愛媛大)
資料名： ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集
巻： 21st  ページ： 14-15  発行年： 2007年11月22日 
JST資料番号： L1241A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,...
準シソーラス用語： けい素基板

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分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (4件)： 大気 ,  マイクロ波プラズマCVD ,  ダイヤモンド ,  成膜