マイクロ波プラズマCVDダイヤモンドの構造及び物性に及ぼす窒素添加効果

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J-GLOBAL ID：200902289203268523 整理番号：05A0280843

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資料名：
巻： 111th ページ： 66-67 発行年： 2005年03月07日
JST資料番号： Y0050A ISSN： 0917-2947 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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炭素とその化合物 , その他の無機化合物の薄膜

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