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J-GLOBAL ID：200902295279116838   整理番号：09A1287891

大気解放プラズマプロセスによるダイヤモンド成膜に関する研究-成膜条件と膜質について-

著者 (5件)： 八木秀次 (愛媛大) ,  本村英樹 (愛媛大) ,  神野雅文 (愛媛大) ,  青山善行 (愛媛大) ,  小野和雄 (愛媛大)
資料名： ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集
巻： 23rd  ページ： 54-55  発行年： 2009年11月18日 
JST資料番号： L1241A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,  *薄膜 ,  *大気プラズマ ,  電圧 ,  水素 ,  流量 ,  アルカン ,  *ダイヤモンド膜 ,  *鉱石 ,  *宝石
準シソーラス用語： バイアス電圧

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (7件)： 大気解放 ,  プラズマプロセス ,  ダイヤモンド ,  成膜 ,  研究 ,  成膜条件 ,  膜質