文献

J-GLOBAL ID：200902297492553802   整理番号：04A0353088

プラズマ微細計測

Micro and Nano Plasma Measurements.

著者 (2件)： 神野雅文 (愛媛大) ,  本村英樹 (愛媛大)
資料名： 電気学会光応用・視覚研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： LAV-04  号： 1-6  ページ： 19-23  発行年： 2004年03月22日 
JST資料番号： Z0953A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本稿ではマイクロサイズとナノサイズのプラズマを計測し診断する...

シソーラス用語： 計測 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

引用文献 (13件)：

• 橘邦英. "文部科学省科学研究費補助金特定領域研究「プラズマを用いたミクロ反応場の創生とその応用」" ホームページ. http://plasma1.kuee.kyoto-u.ac.jp/%7Etokutei429/
• TACHIBANA, K. Spatiotemmporal behaviors of excited Xe atoms in unit discharge cell of ac-type plasma display panel studied by laser spectroscopic microscopy. J. Appl. Phys. 2000, 88, 4967-4974
• SHINTANI, Y. Diagnostics and control of three-dimensional behaviours of microdischarge in a unit cell of an ac-type plasma display panel. J. Phys. D : Appl. Phys. 2003, 36, 2928-2939
• LOO, K. H. Numerical Modeling of the Contraction of DC Positive Column in Xenon. The Papers of Technical Meeting on Electrical Discharges, IEE Japan. 2003, ED-03-262
• MOTOMURA, H. Temporal Behavior of Radial Distribution of Xenon Metastable Atoms in Xenon Low Pressure Lamps. Proceedings of LS-10, 2004. 2004

タイトルに関連する用語 (3件)： プラズマ ,  微細 ,  計測