文献

J-GLOBAL ID：200902298208129458   整理番号：05A0843361

マイクロプラズマによるSiナノ粒子合成

著者 (4件)： 野崎智洋 (東京工大 大学院) ,  朝日大輔 (東京工大 大学院) ,  岡崎健 (東京工大 大学院) ,  佐々木健二 (東京工大 大学院)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 66th  号： 1  ページ： 105  発行年： 2005年09月07日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ケイ素 ,...

   このテーマを更に深掘りする（JDreamⅢへ）  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=05A0843361&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=Y0055A") }}

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  無機化合物一般及び元素  (CD01010D)

物質索引 (1件)： TEOS

タイトルに関連する用語 (3件)： マイクロプラズマ ,  Si ,  ナノ粒子合成