特許

J-GLOBAL ID：200903001905626290

静電誘導吸着具及び静電誘導吸着方法

発明者： 齋藤 滋規 ,  鞠谷 雄士 ,  ロペスベレンゲレス ホセオリオル ,  目黒 寛之 ,  多田隈 建二郎
出願人/特許権者： 国立大学法人東京工業大学
代理人 (3件)： 松山 允之 ,  池上 徹真 ,  須藤 章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-336511
公開番号（公開出願番号）：特開2008-154301
出願日： 2006年12月14日
公開日（公表日）： 2008年07月03日
要約：

【課題】低い電圧で大きな被吸着力が得られ、被吸着物の表面粗さを吸収できる静電誘導吸着具及び静電誘導吸着方法を提供する。【解決手段】静電誘導により被吸着物を吸着する静電誘導吸着具において、糸状の誘電材12内に並置された複数本の導電線14a,14bを有する静電誘導糸10と、導電線間に静電場を発生する電源と、を備え、電源により導電線間に静電場を発生し、静電誘導により静電誘導糸の表面付近で被吸着物を吸着する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

静電誘導により被吸着物を吸着する静電誘導吸着具において、 糸状の誘電材内に並置された複数本の導電線を有する静電誘導糸と、 導電線間に静電場を発生する電源と、を備え、 電源により導電線間に静電場を発生し、静電誘導により静電誘導糸の表面付近で被吸着物を吸着する、静電誘導吸着具。

IPC (3件)：

H02N 13/00 ,  B25J 15/06 ,  H01L 21/683

FI (3件)：

H02N13/00 D ,  B25J15/06 Z ,  H01L21/68 R

Fターム (10件)：

3C007AS24 ,  3C007DS01 ,  3C007FS10 ,  3C007FT10 ,  3C007LV10 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031GA09 ,  5F031GA32