特許
J-GLOBAL ID：200903049550145671

有機積層膜識別化支援方法および有機積層膜検査方法

発明者：
田中 伸史

田中 伸史 について

, 
冨谷 茂隆

冨谷 茂隆 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (2件)： 藤島 洋一郎 ,  三反崎 泰司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-160223
公開番号（公開出願番号）：特開2006-338953
出願日： 2005年05月31日
公開日（公表日）： 2006年12月14日
要約：
【課題】 複数種類の有機化合物層を積層してなる有機積層膜において、各有機化合物層の識別を可能とする有機積層膜識別化支援方法を提供する。【解決手段】 検査試料2を透過した非弾性散乱電子Es2のうち、所定のエネルギー範囲のエネルギー損失が生じた損失電子を選択的に検出する。この損失電子の信号強度に基づいて、各有機化合物層511〜515における信号強度分布Ioutを作成する。そして、この信号強度分布Ioutを用いて有機積層膜31の検査を行う。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数種類の有機化合物層を積層してなる有機積層膜において各有機化合物層の識別化を支援するための方法であって、 前記有機積層膜を含むように作製された検査試料に対して電子線を入射し、 前記検査試料へ入射して透過した透過電子のうち、所定のエネルギー範囲のエネルギー損失が生じた損失電子を選択的に検出し、 検出された前記損失電子の信号強度に基づいて各有機化合物層における信号強度分布を作成し、 作成された前記信号強度分布を出力する ことを特徴とする有機積層膜識別化支援方法。
IPC (2件)：
H05B 33/12 ,  H01L 51/50
FI (2件)：
H05B33/12 Z ,  H05B33/14 A
Fターム (3件)：
3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA00
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (2件)

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