特許
J-GLOBAL ID:200903052134085210
半導体受光素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
光石 俊郎 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-332587
公開番号(公開出願番号):特開平11-168224
出願日: 1997年12月03日
公開日(公表日): 1999年06月22日
要約:
【要約】【課題】 屈折型光受光素子または導波路型光受光素子において、ファイバとの光軸方向の光結合を図る際、容易に高精度で光結合が可能となる光受光素子を提供することにある。【解決手段】 光受光層13を含む半導体多層構造よりなる受光部分と端面に表面側から離れるに従い内側に傾斜した光入射端面11を設けることにより、該光入射端面11で入射光を屈折させて、前記光受光層13を入射光が層厚方向に対し斜めに通過する屈折型半導体受光素子において、該光入射端面側に、傾斜した光入射端面11の先端部より有限の長さ基板15が出っ張っていることを特徴とする。
請求項(抜粋):
光受光層を含む半導体多層構造よりなる受光部分と端面に表面側から離れるに従い内側に傾斜した光入射端面を設けることにより、該光入射端面で入射光を屈折させて、前記光受光層を入射光が層厚方向に対し斜めに通過するようにした屈折型半導体受光素子において、該光入射端面側に、傾斜した光入射端面の先端部より有限の長さ基板部分が出っ張っていることを特徴とする半導体受光素子。
引用特許:
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