特許

J-GLOBAL ID：200903053787121820

センサ基板およびこれを用いた複合センサ

発明者： 宮寺 信生 ,  山口 正利 ,  神林 裕一 ,  大朏 俊弥 ,  新保 一成 ,  大平 泰生 ,  馬場 暁 ,  加藤 景三 ,  金子 双男
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (6件)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-221251
公開番号（公開出願番号）：特開2008-083036
出願日： 2007年08月28日
公開日（公表日）： 2008年04月10日
要約：

【課題】圧電素子を利用し、被検出物質の吸着質量の変化量とそれに伴う光学特性の変化量とを同時に正確に検出できるセンサ基板を提供することを目的とする。【解決手段】両面に電極が形成された圧電材料からなる基板の少なくとも片面にクラッド層、コア層、センシング層がこの順に積層されたセンサ基板であって、前記電極が振動子の電極として作用し、前記コア層が主たる導波領域となる光導波路を構成することを特徴とするセンサ基板およびこれを用いた複合センサを提供する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

両面に電極が形成された圧電材料からなる基板の少なくとも片面にクラッド層、コア層、センシング層がこの順に積層されたセンサ基板であって、 前記電極が振動子の電極として作用し、前記コア層が主たる導波領域となる光導波路を構成することを特徴とするセンサ基板。

IPC (2件)：

G01N 5/02 ,  G01N 21/27

FI (2件)：

G01N5/02 A ,  G01N21/27 C

Fターム (16件)：

2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059EE01 ,  2G059EE12 ,  2G059FF04 ,  2G059GG01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ19 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM05 ,  2G059MM10 ,  2G059PP04

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 化学ガスセンサ用材料及び化学ガスセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-203706   出願人：日本電信電話株式会社
• 平面光導波路型バイオケミカルセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-240901   出願人：日本電気株式会社
• 表面プラズモン共鳴センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-325903   出願人：株式会社潤工社, 東京都
• 物質吸着検知方法およびセンサ
  公報種別：再公表公報   出願番号：JP2005013863   出願人：国立大学法人新潟大学

審査官引用 (3件)

• ガスセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-120037   出願人：日本電信電話株式会社
• 特開平1-250843
  
• ポリマー光導波路の検査方法及び製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-132794   出願人：日立化成工業株式会社