特許

J-GLOBAL ID：200903026648567574

ガスセンサ

発明者： 竹中 久貴 ,  山本 二三男 ,  丸野 透 ,  佐々木 重邦 ,  池田 幸介 ,  渡辺 正満 ,  林 孝好 ,  松元 史朗 ,  田中 融
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-120037
公開番号（公開出願番号）：特開平8-313430
出願日： 1995年05月18日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【目的】 反復使用に耐える光導波路利用ガスセンサを提供する。【構成】 光導波路をガス検出手段として用いるガスセンサにおいて、光導波路は、リッジ型または薄膜型のフッ素化ポリイミドからなるフッ素化ポリイミド光導波路であることを特徴とする。さらに、フッ素化ポリイミド光導波路の少なくとも一端部に、光導入または光取り出しのための光ファイバが設けられる。

請求項（抜粋）：

光導波路をガス検出手段として用いるガスセンサにおいて、前記光導波路は、フッ素化ポリイミドからなるフッ素化ポリイミド光導波路であることを特徴とするガスセンサ。

IPC (3件)：

G01N 21/27 ,  G01D 5/26 ,  G02F 1/03 501

FI (3件)：

G01N 21/27 C ,  G01D 5/26 ,  G02F 1/03 501