特許

J-GLOBAL ID：200903054123430792

放電型レーザー装置およびレーザー発振方法

発明者： 沖野 晃俊 ,  堀田 栄喜
出願人/特許権者： 財団法人理工学振興会
代理人 (2件)： 森脇 正志 ,  森脇 康博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-188024
公開番号（公開出願番号）：特開2004-031788
出願日： 2002年06月27日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：

【課題】キャピラリー放電励起方式を採用するレーザー装置の繰り返し周波数を従来よりも高くすることのできる放電型レーザー装置を提供する。【解決手段】陰極21と陽極24と前記陰極及び前記陽極とを接続するキャピラリー22とを備え、前記キャピラリーの一端に放電気体を導入するための導入口27が接続されていると共に前記キャピラリーの他端に前記放電気体を排出するための排出口26が接続されたキャピラリー放電機構を備えている。本発明によると、高繰り返し運転が可能となる。また、放電ごとに放電気体が全て入れ替わるため、安定した放電が実現できる。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

陰極(21)と陽極(24)と前記陰極及び前記陽極とを接続するキャピラリー(22)とを備え、前記キャピラリーの一端(X)に放電気体を導入するための導入口(27)が接続されていると共に前記キャピラリーの他端(Y)に前記放電気体を排出するための排出口(26)が接続されたキャピラリー放電機構を備えていることを特徴とする放電型レーザー装置。

IPC (6件)：

H01S3/032 ,  G21K5/02 ,  H01L21/027 ,  H01S3/036 ,  H01S4/00 ,  H05H1/24

FI (6件)：

H01S3/03 F ,  G21K5/02 X ,  H01S4/00 ,  H05H1/24 ,  H01S3/03 J ,  H01L21/30 531S

Fターム (25件)：

5F046GC03 ,  5F071AA02 ,  5F071DD01 ,  5F071EE02 ,  5F071FF05 ,  5F071GG04 ,  5F071GG05 ,  5F071GG08 ,  5F071GG09 ,  5F071JJ05 ,  5F071JJ07 ,  5F072AA02 ,  5F072GG04 ,  5F072GG05 ,  5F072GG08 ,  5F072GG09 ,  5F072JJ05 ,  5F072JJ07 ,  5F072MM08 ,  5F072PP10 ,  5F072RR07 ,  5F072SS06 ,  5F072YY09 ,  5F072YY11 ,  5F072YY20