特許
J-GLOBAL ID：200903054199459862
表面形状認識用センサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山川 政樹
, 黒川 弘朗
, 山川 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-270104
公開番号（公開出願番号）：特開2005-024480
出願日： 2003年07月01日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：
【課題】例えば、乾燥した指や湿った指、あるいは硬い指先や柔らかい指先など、検出対象の表面が様々な状態であっても、対象の表面形状をより鮮明に検出できるようにする【解決手段】静電容量式容量検出素子110とMEMS式容量検出素子120とが、交互に配列される。静電容量式容量検出素子110の上下左右に、MEMS式容量検出素子120が配置され、MEMS式容量検出素子120の上下左右に、静電容量式容量検出素子110が配置される。各素子は、平面視50μm角の正方形状に形成され、従って、50μm間隔で配列されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
半導体基板の上に形成された層間絶縁層の同一平面上に配列された複数の第1検出素子と、
前記層間絶縁層の同一平面上に配列された複数の第2検出素子と
を備え、
前記第1検出素子と前記第2検出素子とは、検出機構が異なるものである
ことを特徴とする表面形状認識用センサ。
IPC (4件)：
G01B7/28
, G01D21/02
, G01L5/00
, G06T1/00
G01B7/28 A
, G01D21/02
, G01L5/00 101Z
, G06T1/00 400G
2F051AA17
, 2F051AB08
, 2F063AA43
, 2F063BA29
, 2F063BB01
, 2F063BB02
, 2F063BB08
, 2F063BD05
, 2F063BD11
, 2F063CA08
, 2F063DA02
, 2F063DA05
, 2F063DD07
, 2F063HA04
, 2F063JA10
, 2F063LA09
, 2F076BA01
, 2F076BB01
, 2F076BD11
, 2F076BD17
, 2F076BE09
, 5B047AA25
, 5B047BA02
, 5B047BB04
出願人引用 (2件)
審査官引用 (7件)
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