特許
J-GLOBAL ID：200903072218619386
表面形状認識用センサおよびこの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-019870
公開番号（公開出願番号）：特開2002-328003
出願日： 2002年01月29日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：
【要約】【課題】 上部電極に開口部を備えることで容易に中空構造を形成できるようにした表面形状認識用センサにおいて、一般的に用いられている適用しやすい方法で、上部電極上により容易に保護膜が形成できるようにする。【解決手段】 格子状の支持部材106に囲われた矩形領域において、可動電極111の前記矩形領域4隅に対応する位置に開口部111aを形成し、開口部111aを介して可動電極下の犠牲膜117を除去する。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に形成された層間絶縁膜の同一平面に各々が絶縁分離されかつ各々固定配置された下部電極、およびこの下部電極上に所定の間隔をあけて配置され複数の開口部を備えた金属からなる変形可能な板状の上部電極から構成された複数の容量検出素子と、前記下部電極周囲に前記下部電極とは絶縁分離されて配置され前記下部電極より高く形成されて前記上部電極を支持する支持部材と、前記上部電極上に配置されて前記開口部を塞ぐように形成された保護膜とを備え、前記上部電極の開口部は、前記下部電極の主要部上および前記支持部材上の領域以外に配置されたことを特徴とする表面形状認識用センサ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01B 7/28 A
, A61B 5/10 322
, A61B 5/10 320 Z
2F063AA43
, 2F063BB01
, 2F063BB08
, 2F063BC10
, 2F063BD05
, 2F063CA17
, 2F063DA02
, 2F063DA05
, 2F063DD07
, 2F063HA01
, 2F063HA04
, 4C038FF01
, 4C038FG00
, 4C038VA07
, 4C038VB03
, 4C038VC20
