特許
J-GLOBAL ID：200903080198740216
表面形状認識用センサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山川 政樹
, 黒川 弘朗
, 山川 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-270432
公開番号（公開出願番号）：特開2005-021578
出願日： 2003年07月02日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：
【課題】例えば、乾燥した指や湿った指、あるいは硬い指先や柔らかい指先など、検出対象の表面が様々な状態であっても、対象の表面形状をより鮮明に検出できるようにする【解決手段】 切り替えスイッチ121,122を切り替えることで、下部電極103と上部電極104との間の容量に加え、上部電極104と検出対象となる指150との間の容量を、容量検出回路123で検出する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
半導体基板の上の同一平面に各々が絶縁分離されて配列された複数の下部電極、及びこの下部電極の上に所定の間隔をあけて配置され金属からなる変形可能な板状の上部電極から構成され、各々が分離して設けられた複数の容量検出素子と、
前記下部電極の周囲に前記下部電極とは絶縁分離されて配置された前記上部電極を支持する支持部材と、
前記上部電極を覆うように形成された封止膜と、
前記容量検出素子に発生した容量を検出するための制御回路と
を備えたことを特徴とする表面形状認識用センサ。
IPC (4件)：
A61B5/117
, A61B5/05
, A61B5/107
, G01B7/28
A61B5/10 322
, A61B5/05 Z
, G01B7/28 A
, A61B5/10 300Q
, A61B5/10 320C
2F063AA43
, 2F063BA29
, 2F063BB01
, 2F063BB02
, 2F063BB08
, 2F063BD05
, 2F063BD11
, 2F063CA08
, 2F063DA02
, 2F063DA05
, 2F063DD07
, 2F063HA04
, 2F063LA09
, 2F063NA06
, 4C027BB00
, 4C027EE01
, 4C038FF01
, 4C038FG00
, 4C038VA07
, 4C038VB13
, 4C038VC00
出願人引用 (1件)
審査官引用 (8件)
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