特許
J-GLOBAL ID：200903000259225219
表面形状認識用センサおよびこの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-222584
公開番号（公開出願番号）：特開2003-035507
出願日： 2001年07月24日
公開日（公表日）： 2003年02月07日
要約：
【要約】【課題】 安定性、感度、信頼性を考慮した表面形状認識用センサを提供する。【解決手段】 絶縁膜107を0.1μmの厚さに形成し、この上のセンサ電極104a上部領域に、センサ電極104aを全て覆うように膜厚1μm程度のレジストパターン108を形成し、これをマスクとして、絶縁膜107を選択的にエッチングし、センサ電極104aを覆う電極絶縁膜107aを形成する。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に形成された層間絶縁膜の同一平面に各々が絶縁分離されかつ各々固定配置されたセンサ電極,このセンサ電極上に配置された電極絶縁膜,この電極絶縁膜上に所定の間隔をあけて配置された金属からなる変形可能な板状の可動電極から構成された複数の容量検出素子と、前記センサ電極周囲に前記センサ電極とは絶縁分離されて配置され前記電極絶縁膜より高く形成されて前記可動電極を支持する支持部材とを備えたことを特徴とする表面形状認識用センサ。
IPC (3件)：
G01B 7/28
, A61B 5/117
, G06T 1/00 400
G01B 7/28 Z
, G06T 1/00 400 G
, A61B 5/10 322
2F063AA43
, 2F063BA29
, 2F063BD20
, 2F063DA02
, 2F063DD07
, 2F063EB05
, 2F063EB15
, 2F063HA04
, 4C038FF01
, 4C038FG00
, 5B047AA25
, 5B047BA02
, 5B047BB04
, 5B047BC01
