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J-GLOBAL ID：201002203955932669   整理番号：10A0463177

i線ステッパを用いたアモルファスシリコン細線先鋭構造の作製法の開発とスポットサイズコンバータへの応用

著者 (15件)： 榊原陽一 (産業技術総合研) ,  榊原陽一 (東京理大 理工) ,  榊原陽一 (明治大 理工) ,  市村直也 (産業技術総合研) ,  市村直也 (東京理大 理工) ,  亀井利浩 (産業技術総合研) ,  糸賀恵美子 (産業技術総合研) ,  正影淳行 (産業技術総合研) ,  正影淳行 (明治大 理工) ,  中西功一 (産業技術総合研) ,  庄司雄哉 (産業技術総合研) ,  岡野誠 (産業技術総合研) ,  金高健二 (産業技術総合研) ,  河島整 (産業技術総合研) ,  森雅彦 (産業技術総合研)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻： 57th  ページ： ROMBUNNO.17P-P3-11  発行年： 2010年03月03日 
JST資料番号： Y0054B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *光導波路 ,  *細線 ,  *アモルファスシリコン ,  *テーパ構造 ,  ステッパ ,  *微細加工 ,  長さ ,  変換器 ,  *RIE【エッチング】 ,  パターン形成 ,  ポリイミド ,  スポットサイズ

分類 (2件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： ステッパ ,  アモルファスシリコン ,  細線 ,  作製法 ,  開発 ,  応用