文献

J-GLOBAL ID：201002206518634224   整理番号：10A1451767

イオン注入レジストの表面硬さと除去性との関係

著者 (5件)： 堀邊英夫 (金沢工大) ,  山本雅史 (金沢工大) ,  後藤洋介 (金沢工大) ,  河野昭彦 (金沢工大) ,  西山逸雄 (ダイプラ・ウィンテス)
資料名： 成形加工シンポジア  (Preprints of Seikei-Kakou Autumnal Meeting)
巻： 2010  ページ： 229-230  発行年： 2010年11月05日 
JST資料番号： L3715A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *イオン注入 ,  *レジスト ,  *計測 ,  硬度 ,  ノボラック ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  シミュレーション ,  マイクロマシニング ,  数値シミュレーション ,  マイクロ切削
準シソーラス用語： ポジ型レジスト ,  *硬度測定

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  機械的性質  (YH02022L)

タイトルに関連する用語 (3件)： イオン注入 ,  レジスト ,  表面硬さ