堀邊英夫

堀邊英夫 | Horibe Hideo

所属機関・部署：
職名：教授
ホームページURL (1件)： https://www.omu.ac.jp/eng/polymer2021_lab/

研究分野 (4件)：複合材料、界面 , 構造材料、機能材料 , 高分子材料 , 高分子化学

研究キーワード (20件)：感光性樹脂 , PVDF , 原子状水素 , オゾン , 導電性複合材料 , PVDF/PMMA , イオンビーム , 感光性樹脂(レジスト) , リソグラフィー , 微細加工技術 , 高分子化学 , atomic hydrogen , オゾン , Polymer Composites Filled with Electrical Filler , PVDF/PMMA , ion beam , resist , lithography , ultra-fine processing technology , polymer chemistry

競争的資金等の研究課題 (24件)：

2022 - 2025 理科室で構築したナノテクプラットフォームで実現する半導体デバイスファウンドリ
2022 - 2025 大気圧低温プラズマを用いたポリマーブレンド膜表面へのダブルラフネス構造の形成
2021 - 2024 永久ヒューズ用導電性複合材料のモルフォロジー制御による常温抵抗率の低減化
2019 - 2023 水素ラジカルによるポリマー材料の分解・除去における酸素微量添加効果の解明
2018 - 2021 半導体製造での環境負荷低減を目指したレーザーを用いた高効率レジスト剥離技術の開発

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論文 (108件)：

Masashi Yamamoto, Tomoyuki Hamasaki, Atsushi Sekiguchi, Hiroko Minami, Masayasu Aikawa, Hideo Horibe. Development of Bile Duct Stent with Antifouling Property Using Atmospheric Pressure and Low Temperature Plasma. Journal of Photopolymer Science and Technology. 2022. 35. 3. 233-239
Risako Matsuura, Noritsugu Kometani, Hideo Horibe, Tatsuru Shirafuji. Enhanced decomposition of toxic pollutants by underwater pulsed discharge in the presence of hydrogen peroxide and microbubbles. Japanese Journal of Applied Physics. 2022. 61. SA
Ken Ichi Fujita, Takashi Tomiyama, Takahiro Inoi, Takashi Nishiyama, Eriko Sato, Hideo Horibe, Ryosuke Takahashi, Shinichi Kitamura, Yoshihiro Yamaguchi, Akira Ogita, et al. Effect of pgsE expression on the molecular weight of poly(γ-glutamic acid) in fermentative production. Polymer Journal. 2021. 53. 2. 409-414
Koki Akita, Shota Sogo, Ryusei Sogame, Masashi Yamamoto, Shiro Nagaoka, Hironobu Umemoto, Hideo Horibe. Removal of novolac photoresist with various concentrations of photo-active compound using h2/o2 mixtures activated on a tungsten hot-wire catalyst. Journal of Photopolymer Science and Technology. 2021. 34. 5. 499-504
Atsushi Sekiguchi, Masashi Yamamoto, Takuya Kumagai, Youichiro Mori, Hiroko Minami, Masayasu Aikawa, Hideo Horibe. Development of Bile Direct Stent Having Antifouling Properties by Atmospheric Pressure Low-Temperature Plasma. Journal of Photopolymer Science and Technology. 2021. 34. 4. 401-410

MISC (334件)：

山地恭平, 山本雅史, PAING Khant Nyar, 相澤洸, 石島達夫, 堀邊英夫. 水蒸気プラズマによるポリスチレン系ポリマーの除去. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2023. 84th
長岡史郎, 山本雅史, 鹿間共一, 清水共, JOHNSTON Robert, 松田和典, 下川房男, 堀邊英夫. 理科室で構築する工学教育用半導体デバイス設計製作評価環境. 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2020. 67th
宮崎翔, 山本雅史, 河田純, 堀邊英夫, 長岡史郎. 電子線レジストの感度曲線を用いたレジスト解像度パタンのモンテカルロシミュレーション. 計測自動制御学会システムインテグレーション部門講演会(CD-ROM). 2019. 20th
Chisato Omori, Michihiro Yuri, Eriko Sato, Takashi Nishiyama, Hideo Horibe. Development of Thermal Latent Reductants and Their Application to Accelerated Degradation of Polyperoxides (Hot Topics). 高分子. 2018. 67. 7. 383
西岡直樹, 西岡直樹, 梅田悠史, 船本祐介, 島大地, 倉前宏行, 神村共住, 堀邊英夫, 吉村政志, 中村亮介. 時間分解解析を用いたレーザー照射によるレジスト剥離現象の解明. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2018. 79th

特許 (104件)：

書籍 (7件)：

コンポジット材料の紺練・コンパウンド技術と分散・界面制御第6章第5節導電フィラー分散樹脂の温度に対する電気特性
技術情報協会 2013
レジストエッチング-水素ラジカルによるレジスト除去-
シーエムシー出版(触媒CVD(Cat-CVD)の新展開) 2008
マスク枚数削減のための新規プロセス-ハーフトーンマスク用多層レジスト技術-
情報機構 2008
新規なレジスト剥離技術
情報機構 2008
導電性材料ノウハウ集-配合/設計/評価のポイント-
情報機構発行 2007

講演・口頭発表等 (591件)：

Hot-wire法により生成した水素ラジカルによるレジスト材料の分解反応機構I
(第59回応用物理学関係連合講演会 2012)
湿潤オゾンを用いたレジスト除去における反応メカニズムの解明(II)
(第59回応用物理学関係連合講演会 2012)
プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・その場観察電子スピン共鳴(ESR)解析(3)
(第59回応用物理学関係連合講演会 2012)
溶解抑制剤を添加した3成分系化学増幅型EUVレジストの開発II
(第59回応用物理学関係連合講演会 2012)
イオン注入レジストの構造解析(2)
(第59回応用物理学関係連合講演会 2012)

学歴 (1件)：

1981 - 1985 京都大学工学部合成化学科

学位 (1件)：

博士(工学) (大阪大学)

経歴 (13件)：

2022/04 - 現在大阪公立大学大学院教授物質化学生命系専攻
2017 - 現在金沢大学客員教授(兼任)
2017 - 現在高知工科大学客員教授(兼任)
2013 - 現在大阪市立大学大学院工学研究科化学生物系専攻教授
2007 - 現在大阪大学招聘教授(兼任)

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委員歴 (21件)：

2019/04 - 現在キンカエレクトロニクス部会委員
2019/04 - 現在大阪工研協会副部会長
2018/04 - 現在ラドテック研究会理事
2017/04 - 現在フォトポリマー懇話会副会長
2017/04 - 現在関西コンバーティングものづくり研究会会長

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受賞 (5件)：

2017/11 - 第65回電気科学技術奨励賞
2017/05 - 平成28年度大阪ニュークリアサイエンス協会(ONSA)賞
2013/03 - 第11回プラズマエレクトロニクス賞
2007/03 - 第14回平賀源内大賞
1995/05 - 第46回化学技術賞

所属学会 (10件)：

Cat-CVD研究会 , 高分子学会 , 日本放射線化学会 , 応用物理学会 , HWCVD , EM-NANO , 関西コンバーティングものづくり研究会 , プラスチック成形加工学会 , フォトポリマー学会 , ラドテック研究会

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