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J-GLOBAL ID：201002218665386455   整理番号：10A0996858

オンウェーハ測定のためのTL(Thru-Line)校正によるディエンベディング手法

著者 (4件)： 平野拓一 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  岡田健一 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  広川二郎 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  安藤真 (東京工大 大学院理工学研究科)
資料名： 電子情報通信学会大会講演論文集  (電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集)
巻： 2010  号： エレクトロニクスソサイエティ1  ページ： 68  発行年： 2010年08月31日 
JST資料番号： G0508A  ISSN： 1349-1369  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 数値シミュレーションにより,オンウェーハ測定のためのTL校正の有効性を確認した。発表ではガイド付マイクロストリップ線路の伝搬定数の測定値との比較を行う予定である。(著者抄録)

シソーラス用語： キャリブレーション ,  ウエハ【IC】 ,  シミュレーション ,  マイクロストリップ線路 ,  *伝搬定数 ,  電気測定 ,  *マイクロ波集積回路 ,  縁効果 ,  オンウェハ測定 ,  *ミリ波集積回路 ,  数値シミュレーション

分類 (2件)： 伝送回路素子一般  (NC04010G) ,  電磁気的量の計測一般  (AD07010R)

タイトルに関連する用語 (4件)： Tl ,  LINE ,  校正 ,  手法