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J-GLOBAL ID：201002226950583046   整理番号：10A1146896

DNAによるナノ電子配線の形成(第一報)アンカー部分製作

著者 (4件)： 前田全啓 (東京工大) ,  遠藤達郎 (東京工大) ,  柳田保子 (東京工大) ,  初澤毅 (東京工大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2010  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.J04  発行年： 2010年09月10日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,DNAの自己組織化を応用した電子回路用ナノ配線構造の形成を提案する。第一歩として,Si基板上の指定位置へDNAナノ構造体を固定するための足場構造(ナノアンカー)を試作した。ナノアンカーはAFMリソグラフィによって直径100nm程度のドットとして作製し,そこに付着末端を持つ短鎖DNAをシランカップリング剤とリンカーを用いて化学的に固定し,顕微鏡により観察した。(著者抄録)

シソーラス用語： *配線 ,  ナノワイヤ ,  リソグラフィー ,  *DNA【核酸】 ,  自己組織化 ,  位置決め ,  ウエハ【IC】 ,  シリコンウエハ
準シソーラス用語： *ナノ電子配線 ,  シリコン基板

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： DNA ,  電子 ,  アンカー ,  製作