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J-GLOBAL ID：201002236756184608   整理番号：10A0622181

プラズマCVDにおけるカーボンナノチューブ成長モード(単層/多層)の圧力依存性

著者 (4件)： 吉田晋平 (東京工大 大学院) ,  唐津拓也 (東京工大 大学院) ,  野崎智洋 (東京工大 大学院) ,  岡崎健 (東京工大 大学院)
資料名： 日本伝熱シンポジウム講演論文集(CD-ROM)
巻： 47th  ページ： ROMBUNNO.SP205  発行年： 2010年 
JST資料番号： F0872D  ISSN： 1346-1532  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 大気圧プラズマCVDを用いれば,減圧プラズマとは異なり活性種の過剰供給を抑制できるため,単層CNTs(Carbon Nanotubes)の合成が可能である。本研究では,プラズマCVDにおける合成圧力がCNTsの性状に及ぼす影響を詳細に調べた(20, 30, ..., 90, 100 kPa).その結果,減圧するにしたがってG/D強度比が低下し,単層から二層,さらには多層CNTsへと変化していくことが明らかになった。また,その成長モード(単層/多層)が成長初期の核生成の段階で決まっていることを示した。(著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマCVD ,  *カーボンナノチューブ ,  核形成 ,  プラズマ ,  Raman分光分析 ,  走査電子顕微鏡 ,  透過型電子顕微鏡 ,  スパッタリング ,  薄膜成長 ,  圧力効果 ,  *成長モード ,  反応性プラズマ
準シソーラス用語： 圧力依存性

分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (6件)： プラズマCVD ,  カーボンナノチューブ ,  成長モード ,  単層 ,  多層 ,  圧力依存性